Parent Directory| Name | Size | Last Modified |
|---|---|---|
 0001101302-26-000099-index-headers.html | 2026-04-30 07:01:50 | |
| 0001101302-26-000099-index.html | 2026-04-30 07:01:50 | |
| 0001101302-26-000099.txt | 2026-04-30 07:01:50 | |
 0001101302-26-000099-xbrl.zip | 62792 | 2026-04-30 07:01:50 |
 entegrislogoq42019.gif | 12284 | 2026-04-30 07:01:50 |
| entg-20260430.htm | 30439 | 2026-04-30 07:01:50 |
| entg-20260430.xsd | 1882 | 2026-04-30 07:01:50 |
 entg-20260430_g1.jpg | 42851 | 2026-04-30 07:01:50 |
| entg-20260430_htm.xml | 2801 | 2026-04-30 07:01:50 |
| entg-20260430_lab.xml | 21880 | 2026-04-30 07:01:50 |
| entg-20260430_pre.xml | 12603 | 2026-04-30 07:01:50 |
| entgq12026ex991.htm | 234973 | 2026-04-30 07:01:50 |
| entgq12026ex992.htm | 34439 | 2026-04-30 07:01:50 |
 entgq12026ex992001.jpg | 141739 | 2026-04-30 07:01:50 |
 entgq12026ex992002.jpg | 268073 | 2026-04-30 07:01:50 |
 entgq12026ex992003.jpg | 71760 | 2026-04-30 07:01:50 |
 entgq12026ex992004.jpg | 95238 | 2026-04-30 07:01:50 |
 entgq12026ex992005.jpg | 86647 | 2026-04-30 07:01:50 |
 entgq12026ex992006.jpg | 85487 | 2026-04-30 07:01:50 |
 entgq12026ex992007.jpg | 87010 | 2026-04-30 07:01:50 |
 entgq12026ex992008.jpg | 74439 | 2026-04-30 07:01:50 |
 entgq12026ex992009.jpg | 83171 | 2026-04-30 07:01:50 |
 entgq12026ex992010.jpg | 27748 | 2026-04-30 07:01:50 |
 entgq12026ex992011.jpg | 77218 | 2026-04-30 07:01:50 |
 entgq12026ex992012.jpg | 79276 | 2026-04-30 07:01:50 |
 entgq12026ex992013.jpg | 75975 | 2026-04-30 07:01:50 |
 entgq12026ex992014.jpg | 72884 | 2026-04-30 07:01:50 |
 entgq12026ex992015.jpg | 88703 | 2026-04-30 07:01:50 |
 entgq12026ex992016.jpg | 125048 | 2026-04-30 07:01:50 |
 entgq12026ex992017.jpg | 109852 | 2026-04-30 07:01:50 |
 entgq12026ex992018.jpg | 94898 | 2026-04-30 07:01:50 |
 entgq12026ex992019.jpg | 63642 | 2026-04-30 07:01:50 |
| FilingSummary.xml | 1783 | 2026-04-30 07:01:50 |
| MetaLinks.json | 17723 | 2026-04-30 07:01:50 |
| R1.htm | 38093 | 2026-04-30 07:01:50 |
| report.css | 2767 | 2026-04-30 07:01:50 |
| Show.js | 1085 | 2026-04-30 07:01:50 |