Parent Directory| Name | Size | Last Modified |
|---|---|---|
 0001101302-23-000086-index-headers.html | 2023-11-02 06:02:15 | |
| 0001101302-23-000086-index.html | 2023-11-02 06:02:15 | |
| 0001101302-23-000086.txt | 2023-11-02 06:02:15 | |
 0001101302-23-000086-xbrl.zip | 79576 | 2023-11-02 06:02:15 |
 entegrislogoq42019a.gif | 12284 | 2023-11-02 06:02:15 |
| entg-20231102.htm | 31188 | 2023-11-02 06:02:15 |
| entg-20231102.xsd | 2001 | 2023-11-02 06:02:15 |
 entg-20231102_g1.jpg | 42851 | 2023-11-02 06:02:15 |
| entg-20231102_htm.xml | 2801 | 2023-11-02 06:02:15 |
| entg-20231102_lab.xml | 24134 | 2023-11-02 06:02:15 |
| entg-20231102_pre.xml | 12603 | 2023-11-02 06:02:15 |
| entgq32023ex991.htm | 387061 | 2023-11-02 06:02:15 |
| entgq32023ex992.htm | 79035 | 2023-11-02 06:02:15 |
 entgq32023ex992001.jpg | 75948 | 2023-11-02 06:02:15 |
 entgq32023ex992002.jpg | 256215 | 2023-11-02 06:02:15 |
 entgq32023ex992003.jpg | 78928 | 2023-11-02 06:02:15 |
 entgq32023ex992004.jpg | 105096 | 2023-11-02 06:02:15 |
 entgq32023ex992005.jpg | 98297 | 2023-11-02 06:02:15 |
 entgq32023ex992006.jpg | 68697 | 2023-11-02 06:02:15 |
 entgq32023ex992007.jpg | 85787 | 2023-11-02 06:02:15 |
 entgq32023ex992008.jpg | 90534 | 2023-11-02 06:02:15 |
 entgq32023ex992009.jpg | 109172 | 2023-11-02 06:02:15 |
 entgq32023ex992010.jpg | 88372 | 2023-11-02 06:02:15 |
 entgq32023ex992011.jpg | 53316 | 2023-11-02 06:02:15 |
 entgq32023ex992012.jpg | 27081 | 2023-11-02 06:02:15 |
 entgq32023ex992013.jpg | 99107 | 2023-11-02 06:02:15 |
 entgq32023ex992014.jpg | 113349 | 2023-11-02 06:02:15 |
 entgq32023ex992015.jpg | 164610 | 2023-11-02 06:02:15 |
 entgq32023ex992016.jpg | 136697 | 2023-11-02 06:02:15 |
 entgq32023ex992017.jpg | 71020 | 2023-11-02 06:02:15 |
 entgq32023ex992018.jpg | 108996 | 2023-11-02 06:02:15 |
 entgq32023ex992019.jpg | 125637 | 2023-11-02 06:02:15 |
 entgq32023ex992020.jpg | 133000 | 2023-11-02 06:02:15 |
 entgq32023ex992021.jpg | 103682 | 2023-11-02 06:02:15 |
 entgq32023ex992022.jpg | 69139 | 2023-11-02 06:02:15 |
 entgq32023ex992023.jpg | 78097 | 2023-11-02 06:02:15 |
 entgq32023ex992024.jpg | 123853 | 2023-11-02 06:02:15 |
 entgq32023ex992025.jpg | 94280 | 2023-11-02 06:02:15 |
 entgq32023ex992026.jpg | 109024 | 2023-11-02 06:02:15 |
 entgq32023ex992027.jpg | 111190 | 2023-11-02 06:02:15 |
 entgq32023ex992028.jpg | 93368 | 2023-11-02 06:02:15 |
 entgq32023ex992029.jpg | 126637 | 2023-11-02 06:02:15 |
 entgq32023ex992030.jpg | 148957 | 2023-11-02 06:02:15 |
 entgq32023ex992031.jpg | 192089 | 2023-11-02 06:02:15 |
| FilingSummary.xml | 1783 | 2023-11-02 06:02:15 |
| Financial_Report.xlsx | 5702 | 2023-11-02 06:02:15 |
| MetaLinks.json | 17742 | 2023-11-02 06:02:15 |
| R1.htm | 38110 | 2023-11-02 06:02:15 |
| report.css | 2767 | 2023-11-02 06:02:15 |
| Show.js | 1085 | 2023-11-02 06:02:15 |