Parent Directory| Name | Size | Last Modified |
|---|---|---|
 0001101302-23-000077-index-headers.html | 2023-08-03 06:03:33 | |
| 0001101302-23-000077-index.html | 2023-08-03 06:03:33 | |
| 0001101302-23-000077.txt | 2023-08-03 06:03:33 | |
 0001101302-23-000077-xbrl.zip | 79431 | 2023-08-03 06:03:33 |
 entegrislogoq42019a.gif | 12284 | 2023-08-03 06:03:33 |
| entg-20230803.htm | 31186 | 2023-08-03 06:03:33 |
| entg-20230803.xsd | 2001 | 2023-08-03 06:03:33 |
 entg-20230803_g1.jpg | 42851 | 2023-08-03 06:03:33 |
| entg-20230803_htm.xml | 2801 | 2023-08-03 06:03:33 |
| entg-20230803_lab.xml | 24134 | 2023-08-03 06:03:33 |
| entg-20230803_pre.xml | 12603 | 2023-08-03 06:03:33 |
| entgq22023ex991.htm | 382311 | 2023-08-03 06:03:33 |
| entgq22023ex992.htm | 78868 | 2023-08-03 06:03:33 |
 entgq22023ex992001.jpg | 75925 | 2023-08-03 06:03:33 |
 entgq22023ex992002.jpg | 260738 | 2023-08-03 06:03:33 |
 entgq22023ex992003.jpg | 79291 | 2023-08-03 06:03:33 |
 entgq22023ex992004.jpg | 102501 | 2023-08-03 06:03:33 |
 entgq22023ex992005.jpg | 85482 | 2023-08-03 06:03:33 |
 entgq22023ex992006.jpg | 81439 | 2023-08-03 06:03:33 |
 entgq22023ex992007.jpg | 84401 | 2023-08-03 06:03:33 |
 entgq22023ex992008.jpg | 88369 | 2023-08-03 06:03:33 |
 entgq22023ex992009.jpg | 91711 | 2023-08-03 06:03:33 |
 entgq22023ex992010.jpg | 104651 | 2023-08-03 06:03:33 |
 entgq22023ex992011.jpg | 89958 | 2023-08-03 06:03:33 |
 entgq22023ex992012.jpg | 53333 | 2023-08-03 06:03:33 |
 entgq22023ex992013.jpg | 27082 | 2023-08-03 06:03:33 |
 entgq22023ex992014.jpg | 118227 | 2023-08-03 06:03:33 |
 entgq22023ex992015.jpg | 127067 | 2023-08-03 06:03:33 |
 entgq22023ex992016.jpg | 67368 | 2023-08-03 06:03:33 |
 entgq22023ex992017.jpg | 99192 | 2023-08-03 06:03:33 |
 entgq22023ex992018.jpg | 131139 | 2023-08-03 06:03:33 |
 entgq22023ex992019.jpg | 144909 | 2023-08-03 06:03:33 |
 entgq22023ex992020.jpg | 98784 | 2023-08-03 06:03:33 |
 entgq22023ex992021.jpg | 66048 | 2023-08-03 06:03:33 |
 entgq22023ex992022.jpg | 166930 | 2023-08-03 06:03:33 |
 entgq22023ex992023.jpg | 116615 | 2023-08-03 06:03:33 |
 entgq22023ex992024.jpg | 151254 | 2023-08-03 06:03:33 |
 entgq22023ex992025.jpg | 146794 | 2023-08-03 06:03:33 |
 entgq22023ex992026.jpg | 137698 | 2023-08-03 06:03:33 |
 entgq22023ex992027.jpg | 129471 | 2023-08-03 06:03:33 |
 entgq22023ex992028.jpg | 126443 | 2023-08-03 06:03:33 |
 entgq22023ex992029.jpg | 108144 | 2023-08-03 06:03:33 |
 entgq22023ex992030.jpg | 124319 | 2023-08-03 06:03:33 |
 entgq22023ex992031.jpg | 138917 | 2023-08-03 06:03:33 |
 entgq22023ex992032.jpg | 200845 | 2023-08-03 06:03:33 |
| FilingSummary.xml | 2055 | 2023-08-03 06:03:33 |
| Financial_Report.xlsx | 5703 | 2023-08-03 06:03:33 |
| MetaLinks.json | 17742 | 2023-08-03 06:03:33 |
| R1.htm | 38110 | 2023-08-03 06:03:33 |
| report.css | 2767 | 2023-08-03 06:03:33 |
| Show.js | 1085 | 2023-08-03 06:03:33 |