Parent Directory| Name | Size | Last Modified |
|---|---|---|
 0001101302-23-000050-index-headers.html | 2023-03-17 16:09:24 | |
| 0001101302-23-000050-index.html | 2023-03-17 16:09:24 | |
| 0001101302-23-000050.txt | 2023-03-17 16:09:24 | |
 0001101302-23-000050-xbrl.zip | 7940401 | 2023-03-17 16:09:24 |
| 40876653 | 2023-03-17 16:09:24 | |
| entg-20230317.htm | 1597199 | 2023-03-17 16:09:24 |
| entg-20230317.xsd | 3538 | 2023-03-17 16:09:24 |
| entg-20230317_def.xml | 4194 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g1.jpg | 834121 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g10.jpg | 300260 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g100.jpg | 1019161 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g11.jpg | 25987 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g12.jpg | 24652 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g13.jpg | 25275 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g14.jpg | 30138 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g15.jpg | 4424 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g16.jpg | 3641 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g17.jpg | 4219 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g18.jpg | 35316 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g19.jpg | 17384 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g2.jpg | 817329 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g20.jpg | 24561 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g21.jpg | 20727 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g22.jpg | 23169 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g23.jpg | 28122 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g24.jpg | 27111 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g25.jpg | 125417 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g26.jpg | 112621 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g27.jpg | 148123 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g28.jpg | 141036 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g29.jpg | 146605 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g3.jpg | 107193 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g30.jpg | 61826 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g31.jpg | 102210 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g32.jpg | 96625 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g33.jpg | 89266 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g34.jpg | 39033 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g35.jpg | 95766 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g36.jpg | 23864 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g37.jpg | 20985 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g38.jpg | 12918 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g39.jpg | 12673 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g4.jpg | 70502 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g40.jpg | 13930 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g41.jpg | 11248 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g42.jpg | 24448 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g43.jpg | 3164 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g44.jpg | 5455 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g45.jpg | 2038 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g46.jpg | 29247 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g47.jpg | 2147 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g48.jpg | 3786 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g49.jpg | 4627 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g5.jpg | 64930 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g50.jpg | 24804 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g51.jpg | 3321 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g52.jpg | 3128 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g53.jpg | 3672 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g54.jpg | 5050 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g55.jpg | 4987 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g56.jpg | 4013 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g57.jpg | 3279 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g58.jpg | 3679 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g59.jpg | 4747 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g6.jpg | 78722 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g60.jpg | 4686 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g61.jpg | 4296 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g62.jpg | 4069 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g63.jpg | 26011 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g64.jpg | 25464 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g65.jpg | 24014 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g66.jpg | 25826 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g67.jpg | 24477 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g68.jpg | 1989 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g69.jpg | 2340 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g7.jpg | 61386 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g70.jpg | 20703 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g71.jpg | 20808 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g72.jpg | 883 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g73.jpg | 876 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g74.jpg | 85459 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g75.jpg | 100801 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g76.jpg | 20861 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g77.jpg | 123347 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g78.jpg | 23735 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g79.jpg | 138016 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g8.jpg | 163893 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g80.jpg | 132014 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g81.jpg | 181039 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g82.jpg | 762841 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g83.jpg | 968 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g84.jpg | 14200 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g85.jpg | 29520 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g86.jpg | 29426 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g87.jpg | 14142 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g88.jpg | 32082 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g89.jpg | 33099 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g9.jpg | 71811 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g90.jpg | 30317 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g91.jpg | 32476 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g92.jpg | 58994 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g93.jpg | 58335 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g94.jpg | 57952 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g95.jpg | 130309 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g96.jpg | 67894 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g97.jpg | 48864 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g98.jpg | 578628 | 2023-03-17 16:09:24 |
 entg-20230317_g99.jpg | 1252355 | 2023-03-17 16:09:24 |
| entg-20230317_htm.xml | 76632 | 2023-03-17 16:09:24 |
| entg-20230317_lab.xml | 6417 | 2023-03-17 16:09:24 |
| entg-20230317_pre.xml | 3867 | 2023-03-17 16:09:24 |
| FilingSummary.xml | 6212 | 2023-03-17 16:09:24 |
| Financial_Report.xlsx | 9226 | 2023-03-17 16:09:24 |
| MetaLinks.json | 148401 | 2023-03-17 16:09:24 |
| R1.htm | 10838 | 2023-03-17 16:09:24 |
| R2.htm | 109271 | 2023-03-17 16:09:24 |
| report.css | 2768 | 2023-03-17 16:09:24 |
| Show.js | 1086 | 2023-03-17 16:09:24 |