Parent Directory| Name | Size | Last Modified |
|---|---|---|
 0001101302-20-000046-index-headers.html | 2020-07-23 06:04:48 | |
| 0001101302-20-000046-index.html | 2020-07-23 06:04:48 | |
| 0001101302-20-000046.txt | 2020-07-23 06:04:48 | |
 0001101302-20-000046-xbrl.zip | 74970 | 2020-07-23 06:04:48 |
 entegrislogoq4201911.gif | 12284 | 2020-07-23 06:04:48 |
| entg-20200723.htm | 52922 | 2020-07-23 06:04:48 |
| entg-20200723.xsd | 2520 | 2020-07-23 06:04:48 |
| entg-20200723_cal.xml | 803 | 2020-07-23 06:04:48 |
| entg-20200723_def.xml | 1767 | 2020-07-23 06:04:48 |
 entg-20200723_g1.jpg | 42851 | 2020-07-23 06:04:48 |
| entg-20200723_htm.xml | 10792 | 2020-07-23 06:04:48 |
| entg-20200723_lab.xml | 24270 | 2020-07-23 06:04:48 |
| entg-20200723_pre.xml | 12739 | 2020-07-23 06:04:48 |
| entgq22020ex991.htm | 414349 | 2020-07-23 06:04:48 |
| entgq22020ex992.htm | 51228 | 2020-07-23 06:04:48 |
 entgq22020ex992001.jpg | 70529 | 2020-07-23 06:04:48 |
 entgq22020ex992002.jpg | 233295 | 2020-07-23 06:04:48 |
 entgq22020ex992003.jpg | 72294 | 2020-07-23 06:04:48 |
 entgq22020ex992004.jpg | 77556 | 2020-07-23 06:04:48 |
 entgq22020ex992005.jpg | 109985 | 2020-07-23 06:04:48 |
 entgq22020ex992006.jpg | 89418 | 2020-07-23 06:04:48 |
 entgq22020ex992007.jpg | 82020 | 2020-07-23 06:04:48 |
 entgq22020ex992008.jpg | 81637 | 2020-07-23 06:04:48 |
 entgq22020ex992009.jpg | 96997 | 2020-07-23 06:04:48 |
 entgq22020ex992010.jpg | 95333 | 2020-07-23 06:04:48 |
 entgq22020ex992011.jpg | 76523 | 2020-07-23 06:04:48 |
 entgq22020ex992012.jpg | 87963 | 2020-07-23 06:04:48 |
 entgq22020ex992013.jpg | 51061 | 2020-07-23 06:04:48 |
 entgq22020ex992014.jpg | 26482 | 2020-07-23 06:04:48 |
 entgq22020ex992015.jpg | 94419 | 2020-07-23 06:04:48 |
 entgq22020ex992016.jpg | 78865 | 2020-07-23 06:04:48 |
 entgq22020ex992017.jpg | 121010 | 2020-07-23 06:04:48 |
 entgq22020ex992018.jpg | 123876 | 2020-07-23 06:04:48 |
 entgq22020ex992019.jpg | 115937 | 2020-07-23 06:04:48 |
 entgq22020ex992020.jpg | 93696 | 2020-07-23 06:04:48 |
 entgq22020ex992021.jpg | 116346 | 2020-07-23 06:04:48 |
 entgq22020ex992022.jpg | 144211 | 2020-07-23 06:04:48 |
| FilingSummary.xml | 1912 | 2020-07-23 06:04:48 |
| Financial_Report.xlsx | 5460 | 2020-07-23 06:04:48 |
| MetaLinks.json | 18051 | 2020-07-23 06:04:48 |
| R1.htm | 38631 | 2020-07-23 06:04:48 |
| report.css | 2767 | 2020-07-23 06:04:48 |
| Show.js | 1085 | 2020-07-23 06:04:48 |